YAMADA聚四氟乙烯樹(shù)脂氣動(dòng)隔膜泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

YAMADA聚四氟乙烯樹(shù)脂氣動(dòng)隔膜泵應(yīng)用廣泛，其產(chǎn)品在半導(dǎo)體和電子行業(yè)對(duì)于發(fā)揮設(shè)備的整體工作效率起著關(guān)鍵的作用。合肥豐創(chuàng)光罩公司使用多款YAMADA氣動(dòng)隔膜泵，反饋良好。

YAMADA聚四氟乙烯樹(shù)脂氣動(dòng)隔膜泵的應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體圓晶

在集成電路制造中，YAMADA氣動(dòng)雙隔膜泵作為工藝輸送泵，可以承受腐蝕性化學(xué)品（過(guò)氧化氫、氫氧化鈉和氫氧化鎂），將漿液泵送到分離器用于回收再利用。

分析與精密儀器

分析與精密儀器制造，如電池、X射線傳感器、電源、計(jì)算機(jī)處理器和微電子產(chǎn)品，YAMADA氣動(dòng)雙隔膜泵具有堅(jiān)固、防泄漏的設(shè)計(jì)以及泵送酸和其他有害物質(zhì)的能力。

電路板制造

在電路板的制造過(guò)程中，需要輸送蝕刻的溶劑材料，如丙酮、酸，YAMADA氣動(dòng)雙隔膜泵具有耐腐蝕、防泄漏的設(shè)計(jì)，性能穩(wěn)定且耐腐蝕。

在廢液回收和處理流程中，YAMADA氣動(dòng)雙隔膜泵可以用于各種磨蝕性漿料，并可實(shí)現(xiàn)快速可靠的流體傳輸。

YAMADA聚四氟乙烯樹(shù)脂氣動(dòng)隔膜泵主要在以下工藝環(huán)節(jié)產(chǎn)生作用：

1、卸料：用泵將原料輸送到原料罐

2、原料輸送：原料輸送到生產(chǎn)設(shè)備

3、廢液輸送：輸送到后端的廢液處理車(chē)間（廢水罐、池）

4、廢液處理：過(guò)濾、壓濾

YAMADA聚四氟乙烯樹(shù)脂氣動(dòng)隔膜泵在PCB制造中的挑戰(zhàn)：

在半導(dǎo)體和電子行業(yè)制造過(guò)程中，由于各種原料和溶劑具有強(qiáng)腐蝕性和磨蝕性，對(duì)泵送設(shè)備的應(yīng)用帶來(lái)了巨大的挑戰(zhàn)。一方面，設(shè)備的長(zhǎng)期可靠運(yùn)行有賴于輸送泵本身的性能和品質(zhì)，另一方面，設(shè)備的高能耗和周期性的維護(hù)保養(yǎng)等運(yùn)營(yíng)維護(hù)也給生產(chǎn)企業(yè)帶來(lái)了沉重的負(fù)擔(dān)。一旦堵塞和磨損導(dǎo)致泵送設(shè)備故障將嚴(yán)重影響生產(chǎn)，甚至引起整條產(chǎn)線的停產(chǎn)，損失不可估量。如果泵體破裂損壞，還可能引起腐蝕、火災(zāi)和有毒液體泄漏，造成重大的財(cái)產(chǎn)損失甚至人身傷亡事故。

YAMADA聚四氟乙烯樹(shù)脂氣動(dòng)隔膜泵的特點(diǎn)

完全自吸式不需要引水

即使是混有空氣的液體也能被高效率地吸出。（雖然沒(méi)有液體的空運(yùn)轉(zhuǎn)也不會(huì)破損，但考慮到PTFE隔膜片的壽命問(wèn)題，還是請(qǐng)盡量避免空運(yùn)轉(zhuǎn)。）

不需要考慮防爆問(wèn)題

由于使用來(lái)自空壓機(jī)的壓縮空氣驅(qū)動(dòng)，即使輸送易燃性高的液體以及在危險(xiǎn)的環(huán)境氣體

中工作也不需要考慮防爆問(wèn)題。同時(shí)，也不用擔(dān)心泵有過(guò)熱等問(wèn)題。（FE系列除外）

本體的主要部分也采用樹(shù)脂材質(zhì)

由于不僅限于空氣換向部分而是本體的主要部分都使用了樹(shù)脂材質(zhì)，所以即使在有腐蝕性的環(huán)境氣體中也可以安心使用。

有較高吐出壓力、壓力調(diào)整容易

由于可以向較高的位置及較遠(yuǎn)的地方輸送，因此也適合采用配管方式用于藥品供給系統(tǒng)。并且，由于吐出壓力是和空氣壓力成比例的，所以僅需要簡(jiǎn)單地調(diào)節(jié)減壓閥就可以對(duì)出口壓力進(jìn)行調(diào)整。

接觸液體部分完全采用聚四氟乙烯樹(shù)脂

由于不僅限于隔膜片，而是泵的所有接觸液體部分都完全采用了聚四氟乙烯樹(shù)脂（PTFE、PFA），所以有出色的耐腐蝕性能。而且，由于隔膜片為質(zhì)地堅(jiān)固的整體材料制成，與采用極薄的膠片狀材料或橡膠材質(zhì)表面噴涂耐腐蝕材料的隔膜片不同，有極高的耐久性以及穩(wěn)定的使用品質(zhì)。由于沒(méi)有使用盤(pán)根（軸密封），也就沒(méi)有了密封劑由于摩擦而混入被輸送液體的可能。（Fi系列除外）由于非接觸液體部分的中心軸上，采用了特殊O型圈（適用于干燥空氣）以及FKM密封劑，而空氣換向部位（C型閥芯、PAT.）采用了免油潤(rùn)滑規(guī)格，因此可以完全免除被油污染的擔(dān)心。

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